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==== 原理 ==== MEMS 可燃气体传感器是由基于 MEMS 工艺的硅基微热板和金属氧化物半导体气敏材料组成。 气敏材料在洁净空气中电导率较低 (电阻较大) 当环境空气中有被检测气体存在时,传感器的电导率就会发生变化(电阻变小),该气体的浓度越高,传感器的电导率就越高(电阻越小) <br>
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