扩散硅工业级压力传感器
来自Jack's Lab
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* https://www.maximintegrated.com/en/ds/MAX1452.pdf | * https://www.maximintegrated.com/en/ds/MAX1452.pdf | ||
* https://www.maximintegrated.com/cn/products/sensors/MAX1452.html | * https://www.maximintegrated.com/cn/products/sensors/MAX1452.html | ||
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| + | * [https://wenku.baidu.com/view/61e45cd0250c844769eae009581b6bd97f19bcd4.html 基于MAX1452的压力传感器温度补偿] | ||
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2018年10月19日 (五) 17:22的版本
目录 |
1 概述
在具有压阻效应的单晶硅膜片表面，用扩散或离子注入法，形成 4 个阻值相等的电阻条，并将它们连接成惠斯通电桥，电桥电源端和输出端引出，封装后，即为扩散硅压阻式压力传感器。此类 X 形硅压力传感器最早由摩托罗拉公司设计出
其工作原理：在 X 形硅压力传感器的一个方向上加偏置电压形成电流，当敏感芯片没有外加压力作用，内部电桥处于平衡状态，当有剪切力作用时，在垂直电流方向将会产生一个输出电压 Uo，此电压与压力成正比
- 0 - 10V
- 4 - 20mA
2 PGA309
3 MAX1452
- https://www.maximintegrated.com/en/ds/MAX1452.pdf
- https://www.maximintegrated.com/cn/products/sensors/MAX1452.html
4 参考
- http://www.rihongt.com/product/yalichuanganqi
- https://www.maximintegrated.com/cn/design/partners-and-technology/solutions/industrial/pressure-sensing.html
- https://www.maximintegrated.com/en/app-notes/index.mvp/id/1839
- https://pdfserv.maximintegrated.com/en/an/REFD5523.pdf
