扩散硅工业级压力传感器

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== 概述 ==
 
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在具有压阻效应的单晶硅膜片表面,用扩散或离子注入法,形成 4 个阻值相等的电阻条,并将它们连接成惠斯通电桥,电桥电源端和输出端引出,封装后,即为扩散硅压阻式压力传感器。此类 X 形硅压力传感器最早由摩托罗拉公司设计出
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其工作原理:在 X 形硅压力传感器的一个方向上加偏置电压形成电流,当敏感芯片没有外加压力作用,内部电桥处于平衡状态,当有剪切力作用时,在垂直电流方向将会产生一个输出电压 Uo,此电压与压力成正比
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习惯上称输出模拟信号(电压或电流)的压力传感器为压力变送器,电压或电流信号范围为:
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* 0 - 10V
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* 4 - 20mA
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* 红黑间 2.969K,加参考电压
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* 黄蓝间 5.283K,测量压差
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== 外壳封装 ==
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== 校准 ==
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非线性、零点温度漂移、灵敏度温度漂移。。。
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需对应变测量电路进行温度补偿。。。
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== PGA309 ==
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* [http://www.doc88.com/p-6611187589544.html 基于AT89C58和PGA309的传感器信号校准系统设计]
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* [http://www.doc88.com/p-68067453348.html PGA309补偿原理分析及改进方案]
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* [http://www.doc88.com/p-7807715941319.html 基于PGA309的压力变送器批量化生产设计]
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== MAX1452 ==
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* https://www.maximintegrated.com/en/ds/MAX1452.pdf
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* https://www.maximintegrated.com/cn/products/sensors/MAX1452.html
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* [https://wenku.baidu.com/view/61e45cd0250c844769eae009581b6bd97f19bcd4.html 基于MAX1452的压力传感器温度补偿]
  
 
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== 参考 ==
 
== 参考 ==
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* http://www.rihongt.com/product/yalichuanganqi
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* https://www.maximintegrated.com/cn/design/partners-and-technology/solutions/industrial/pressure-sensing.html
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* https://www.maximintegrated.com/en/app-notes/index.mvp/id/1839
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* https://pdfserv.maximintegrated.com/en/an/REFD5523.pdf
  
 
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2019年5月6日 (一) 15:28的最后版本

目录

[编辑] 1 概述

在具有压阻效应的单晶硅膜片表面,用扩散或离子注入法,形成 4 个阻值相等的电阻条,并将它们连接成惠斯通电桥,电桥电源端和输出端引出,封装后,即为扩散硅压阻式压力传感器。此类 X 形硅压力传感器最早由摩托罗拉公司设计出

其工作原理:在 X 形硅压力传感器的一个方向上加偏置电压形成电流,当敏感芯片没有外加压力作用,内部电桥处于平衡状态,当有剪切力作用时,在垂直电流方向将会产生一个输出电压 Uo,此电压与压力成正比

Diffu-si-sensor.jpg


习惯上称输出模拟信号(电压或电流)的压力传感器为压力变送器,电压或电流信号范围为:

  • 0 - 10V
  • 4 - 20mA


观感:

  • 红黑间 2.969K,加参考电压
  • 黄蓝间 5.283K,测量压差



[编辑] 2 外壳封装

Diffu-si-sensor-shell.jpg


[编辑] 3 校准

非线性、零点温度漂移、灵敏度温度漂移。。。

需对应变测量电路进行温度补偿。。。


[编辑] 4 PGA309



[编辑] 5 MAX1452



[编辑] 6 参考

















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