扩散硅工业级压力传感器
来自Jack's Lab
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+ | 在具有压阻效应的单晶硅膜片表面,用扩散或离子注入法,形成 4 个阻值相等的电阻条,并将它们连接成惠斯通电桥,电桥电源端和输出端引出,封装后,即为扩散硅压阻式压力传感器。此类 X 形硅压力传感器最早由摩托罗拉公司设计出 | ||
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+ | 其工作原理:在 X 形硅压力传感器的一个方向上加偏置电压形成电流,当敏感芯片没有外加压力作用,内部电桥处于平衡状态,当有剪切力作用时,在垂直电流方向将会产生一个输出电压 Uo,此电压与压力成正比 | ||
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+ | == PGA309 == | ||
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+ | * [http://www.doc88.com/p-6611187589544.html 基于AT89C58和PGA309的传感器信号校准系统设计] | ||
+ | * [http://www.doc88.com/p-68067453348.html PGA309补偿原理分析及改进方案] | ||
+ | * [http://www.doc88.com/p-7807715941319.html 基于PGA309的压力变送器批量化生产设计] | ||
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+ | == MAX1452 == | ||
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+ | * https://www.maximintegrated.com/en/ds/MAX1452.pdf | ||
+ | * https://www.maximintegrated.com/cn/products/sensors/MAX1452.html | ||
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+ | * [https://wenku.baidu.com/view/61e45cd0250c844769eae009581b6bd97f19bcd4.html 基于MAX1452的压力传感器温度补偿] | ||
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2019年5月6日 (一) 15:28的最后版本
目录 |
[编辑] 1 概述
在具有压阻效应的单晶硅膜片表面,用扩散或离子注入法,形成 4 个阻值相等的电阻条,并将它们连接成惠斯通电桥,电桥电源端和输出端引出,封装后,即为扩散硅压阻式压力传感器。此类 X 形硅压力传感器最早由摩托罗拉公司设计出
其工作原理:在 X 形硅压力传感器的一个方向上加偏置电压形成电流,当敏感芯片没有外加压力作用,内部电桥处于平衡状态,当有剪切力作用时,在垂直电流方向将会产生一个输出电压 Uo,此电压与压力成正比
习惯上称输出模拟信号(电压或电流)的压力传感器为压力变送器,电压或电流信号范围为:
- 0 - 10V
- 4 - 20mA
观感:
- 红黑间 2.969K,加参考电压
- 黄蓝间 5.283K,测量压差
[编辑] 2 外壳封装
[编辑] 3 校准
非线性、零点温度漂移、灵敏度温度漂移。。。
需对应变测量电路进行温度补偿。。。
[编辑] 4 PGA309
[编辑] 5 MAX1452
- https://www.maximintegrated.com/en/ds/MAX1452.pdf
- https://www.maximintegrated.com/cn/products/sensors/MAX1452.html
[编辑] 6 参考
- http://www.rihongt.com/product/yalichuanganqi
- https://www.maximintegrated.com/cn/design/partners-and-technology/solutions/industrial/pressure-sensing.html
- https://www.maximintegrated.com/en/app-notes/index.mvp/id/1839
- https://pdfserv.maximintegrated.com/en/an/REFD5523.pdf